OLED多源蒸发镀膜机-OLED多源蒸发镀膜机价格-沈阳鹏程

300d三源有机蒸发镀膜机

主要用途：

---适合opv/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池、半导体、有机el、oled显示研究与开发领域。

系统组成:

主要由真空室系统蒸发室、蒸发源系统、样品台系统、 真空抽气及测量系统、气路系统、控制系统、膜厚测试 系统、电控系统组成。

技术指标：

---真空度6.7×10-5pa，系统漏率：1×10-7pal/s； 恢复真空时间：40分钟可达6.6×10 pa短时间暴露 ---并充干燥氮气后开始抽气

样品台：尺寸为4英寸平面样品；

蒸发源：3套

4套挡板系统：挡板共有3套，动密封手动控制；

气路系统:流量控制器1路

石英晶振膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999?

可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统

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zf450型全自动热蒸发镀膜机

沈阳鹏程真空技术有限责任公司——电阻器热蒸发镀膜供货商，我们为您提供下列信息内容。

选用3～8组蒸发源可适配金属材料、有机化合物蒸发。广泛运用于---院校材料、物理学、有机化学、电子器件、电力能源等有关课程及其科研单位制取---作用塑料薄膜、蒸镀电级等，非常合适opv/钙钛矿/无机物太阳能薄膜充电电池、半导体材料、有机化学el、oled显示信息科学研究与开发设计行业。

1.前开关门真空内腔，便捷拿取基片、拆换蒸发舟、加上蒸发材料及其真空室的平时维护保养；

2.1200l/s分子泵做为主抽泵，真空限达到5×10-5pa； 

另可选择進口磁悬浮分子泵或是低温泵做为主抽泵，真空限达到 3×10-6pa；

3. 组水冷器蒸发电级，可长期平稳工作中，适配金属材料材料与有机化学材料的蒸发源设计方案，oled多源蒸发镀膜机价格，

源间有避免交叉式环境污染挡板；

4. 真空蒸发开关电源，恒流电源/恒输出功率---。可保持一键启动和终止的自动控制系统作用；

5.较大120mm基片/15～25mm ito/fto夹层玻璃25片，可订制一体化高精密刻蚀掩膜板；

6.基片台自转，转速比0～25rpm持续可调式；

7. 衬底可挑选加温或水冷散热，源基距较大350mm；

8. 选用進口膜厚---仪在线监控和---蒸发速度、膜厚；

9. 可堆积金属材料au， ag， al， ca， cu，oled多源蒸发镀膜机， mg， fe， cr， ni等、非金属材料、化学物质moo3， lif等

及有机化合物材料， 可扩展堆积单面膜、双层膜及混和膜；

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